直流電漿電源系統 DCPS系列

產品功能

.馗鼎設計製造直流電漿電源供應器,符合電漿特性的電氣規格
.具備定功率,定電壓,定電流
.內建電弧保護功能
.內建過電壓,過電流,過熱,過載等保護功能
.可用於單雙火線的電漿系統
.PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)

直流電漿電源系統

產品特色

  • 數位控制電源供應系統

  • 設定範圍廣

  • 高電漿密度電源

  • 可客製化電源設計開發

  • 真空鍍膜製程之清洗處理供應電源

  • 電漿輔助化學沉積製程

  • 電漿輔助濺鍍製程