產品訊息
PRODUCTS
- product
- product
極化設備
環境噴霧
- 客製設計服務
電漿系統ODM服務
產品功能
產品特色
．感應耦合高密度電漿系統（ICP System）
．電漿輔助化學氣相沉積系統（PECVD）
．濺鍍系統（Sputtering System）
．離子披覆系統（Ion-Plating System）
．電弧離子鍍膜系統（Arc Ion-Plating System）
．化學氣相沉積系統（CVD）
．熱蒸鍍系統（Thermal Evaporation）
．電子槍蒸鍍系統（E-gun Evaporation ）
．電漿輔助化學氣相沉積系統（PECVD）
．濺鍍系統（Sputtering System）
．離子披覆系統（Ion-Plating System）
．電弧離子鍍膜系統（Arc Ion-Plating System）
．化學氣相沉積系統（CVD）
．熱蒸鍍系統（Thermal Evaporation）
．電子槍蒸鍍系統（E-gun Evaporation ）
可應用範圍
- 電漿處理系統如表面處理及表面改質
- 應用在各式鍍膜如光學多層薄膜、超硬耐磨耗薄膜（DLC、TiN、TiC等）