產品訊息
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極化設備
環境噴霧
- PVD系統
FCVA100
產品功能
產品特色
．ta-C塗層專用機
．過濾式彎弧設備
．佔地：W3590*D3100*H3400 mm
．腔體尺寸：525*482*H617 mm
．有效鍍膜空間：D360*H100 mm
．6 軸(D125mm)公自轉轉座
．膜厚：0.1~1μm
．製程時間：2.5~3h
．過濾式彎弧設備
．佔地：W3590*D3100*H3400 mm
．腔體尺寸：525*482*H617 mm
．有效鍍膜空間：D360*H100 mm
．6 軸(D125mm)公自轉轉座
．膜厚：0.1~1μm
．製程時間：2.5~3h