產品訊息
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  • 智慧電暈極化設備
智慧電暈極化設備POL-57A
產品功能
馗鼎奈米科技以數十年優越的電漿設備製造能力結合電漿源及電源供應器設計、電漿診斷技術、設備自動化推出智慧電暈極化設備POL-57A為批次式電漿極化設備適用於處理壓電薄膜極化製程,搭配人機介面容易操作、具有抑制電弧能力、智慧製程診斷功能。
產品特色
.可搭配機械手臂自動取放片
.一鍵全自動操作,效能更穩定
.可程式且模組化流程設定: 設備動作及製程參數設定容易,研發或生產皆宜
.獲多項專利的智慧製程: 加裝多項感測器即時監控製程數據,以便紀錄製程穩定性、異常預測、等

可應用範圍

多種有機壓電薄膜(Arkema FC20, copolymer and homopolyme)應用:

.壓力感測器

.生物辨識(指紋)晶片

.致動器(Actuator)

.薄膜揚聲器