各類基材表面清潔與改質

在大氣環境中，產生輝光放電等離子體，快速清潔有機汙染物， 達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度

可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等

馗鼎低壓反應離子蝕刻設備，結合專利電極與創新氣體流場設計，實現高效蝕刻與優異製程均勻性，廣泛應用於半導體、封裝與光電產業。

高效連續處理，潔淨製程新標竿，採用專利電極與創新氣體流場設計，馗鼎低壓電漿清潔設備支援自動化輸送，精準執行表面清潔、活化、改質與粗化等製程，適用於半導體、封裝與光電等高精密產業。