UA-20935187-3
真空镀膜系统

高真空溅镀系统 CF-SP01 (X、Z)

高真空溅镀系统 CF-SP01 (X、Z)
高真空溅镀系统 CF-SP01 (X、Z)
产品特点
  • 高沉积速度，好的镀膜均匀度
  • 可安装溅镀枪3支
  • 可通入多组气体
  • 可增加偏压
  • 容易操作和维护
  • 全自动及机台稳定性高
  • 可依照客户需求
  • 可搭配等离子光谱分析仪做等离子强度分析及控制
相关解决方案
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