PECVD系統

類鑽碳薄膜 (DLC) 具高硬度、耐磨、低摩擦、耐酸鹼及優異散熱特性，適用於模具保護、銷切工具、光學鏡片、電子封裝、生醫材料及化學藥品貯存，能延長使用壽命、提升成型與良率，並可依需求調整表面親疏水性，廣泛應用於工業與高科技領域。

隨著晶片尺寸縮小，製程元件需具備優異抗靜電特性以避免損傷。馗鼎運用 PVD／PECVD 多層堆疊技術，開發出高效抗靜電薄膜，已穩定量產超過五年並通過多家客戶驗證。

HTR-DLC 薄膜結合高硬度、耐高溫與優異電絕緣性，是工業精密模具、電子元件及高溫應用的理想保護與功能性薄膜。

Rainbow Diamond 是馗鼎自主研發的類鑽進階改良膜層，可結合金屬鍍層，拓展更多應用場景。鍍膜可調質至鑽石般高硬度。