分析控制仪器
等离子体光谱分析仪（OES）
产品描述
等离子光谱分析仪为非侵入式的等离子分析仪器，能够进行等离子的监控及分析制程中等离子元素特性，帮助提升制程的监控性并提供制程后续分析能力
产品特点
- 真空内置式光学探头
- 防镀膜保护组件
- 支持特定波长监测
- 支持流量计控制
- 最多可扩展至 4 组流量计控制
- 提供等离子体发射光谱的后续分析功能
- 可根据需求定制
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