复合式自动等离子制程检测机 APIS

◆ 多气体兼容：氮气、氧气、氩气等可随制程切换
◆ 模块幅宽灵活：从微小零件到不规则基板均可覆盖
◆ 定制化分析软件：量测数据实时可视化，决策更直观
◆ 一站式运作：减少搬片，缩短整体制程时间

• 纳米级平整化加工 | 图案化蚀刻 / 镀膜
• 表面粗糙度改善 & 抛光
• 高洁净去胶 | 无残留更安心
• 微观影像重建
• 适用于高端产业：半导体、面板、LED 等