複合式自動電漿製程檢測機 APIS

◆多氣體相容：氮氣、氧氣、氬氣等隨製程切換
◆模組幅寬彈性：從微小零件到不規則基板都能覆蓋
◆客製化分析軟體：量測數據即時圖像化，決策更直覺
◆一站式運作：減少搬片，縮短整體製程時間

• 奈米級平坦化加工｜圖案化蝕刻 / 鍍膜
• 表面粗糙度改善 & 拋光
• 高潔淨去膠｜無殘留更安心
• 微觀影像重建
• 半導體・面板・LED 等高端產業