等离子电源供应器
等离子电源供应器 MFPS-X3
产品特点
- 1. 第三代半导体SiC模组
- 2. <1uS的Arcing抑制防护
- 3. 相容AE/TRUMPF远端脚位功能
- 4. 台湾研发自制
特别的功能
- 1. 更高的等离子密度与蚀刻速率
- 2. 更好的微孔深孔处理能力
- 3. 最佳的均匀性优势
相关解决方案
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