UA-20935187-3
低壓電漿設備

電漿蝕刻機 PI01

電漿蝕刻機 PI01
電漿蝕刻機 PI01
產品說明
適用於太陽能電池製程，對矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特點
  • 專利設計之特殊電漿電極
  • 高密度電漿源
  • 處理速度快、產能高、可靠度高
  • 可選擇的操作參數多
  • 設備穩定度高，容易維護
  • 全自動且容易操作
  • 可依客戶需求作更改
相關解決方案
  • 太陽能電池
  • 太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
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