多功能型真空電性量測系統MVEM001

MVEM001 提供多探針真空量測（2–4 探針），可微調 X-Y-Z 方向，樣品腔體支援一般至高真空（5×10⁻³ 至 1×10⁻⁶ Torr），搭配 CCD 精準定位。具備 原位電漿處理 功能，可在不破真空下進行樣品表面改質或清潔，並支援 RF/DC/MF 發生器。

系統可進行 光學、特定氣體、濕氣及有機蒸氣感測，並提供 低溫至 20K 與高溫至 500K 的測量選配，適合多種高精密電性量測應用。

• 真空量測
• 特定氣氛感測
• 濕度感測
• 有機蒸氣感測
• 光感測（需額外搭配光學系統如雷射、光譜儀等）
• 高低溫變溫量測
• 真空電漿處理
• 內部各項配件均可客製化設計

• 固態半導體電子元件
• 次微米/奈米元件之電性量測
• 微電子元件量測（photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.）
• 四點探針量測（4 points measurement）