多功能真空电性测量系统 MVEM001

MVEM001 配备 2–4 支测量探针，支持 X、Y、Z 三轴精细调整，并通过 CCD 影像实现探针精准定位。样品腔体的真空压力范围为 5 × 10⁻³ 至 1 × 10⁻⁶ Torr。

系统具备原位等离子体处理功能，可在不破坏真空的条件下进行样品表面清洁或改性，并支持 RF、DC 与 MF 发生器。

测量应用涵盖光感测、特定气氛感测、湿度感测及有机蒸气感测。可根据测试需求选配低温至 20 K 或高温至 500 K 的变温测量配置，内部组件亦可定制。

• 真空电性测量
• 特定气氛感测
• 湿度感测
• 有机蒸气感测
• 光感测，需额外搭配激光器、光谱仪等光学系统
• 高低温变温测量，配置可选
• 真空原位等离子体处理
• 内部组件可根据需求定制

• 固态半导体电子元件
• 次微米/奈米元件之电性量测
• 微电子元件量测（photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.）
• 四点探针量测（4 points measurement）