多功能型真空電性量測系統 MVEM001

MVEM001 配備 2–4 支量測探針，支援 X、Y、Z 三軸精細微調，並透過 CCD 影像進行探針精準定位。樣品腔體的真空壓力範圍為 5 × 10⁻³ 至 1 × 10⁻⁶ Torr。

系統具備原位電漿處理功能，可在不破壞真空的條件下進行樣品表面清潔或改質，並支援 RF、DC 與 MF 發生器。

量測應用涵蓋光感測、特定氣氛感測、濕度感測及有機蒸氣感測。可依測試需求選配低溫至 20 K 或高溫至 500 K 的變溫量測配置，內部組件亦可客製化設計。

• 真空電性量測
• 特定氣氛感測
• 濕度感測
• 有機蒸氣感測
• 光感測，需額外搭配雷射、光譜儀等光學系統
• 高低溫變溫量測，可依需求選配
• 真空原位電漿處理
• 內部組件可依需求客製化設計

• 固態半導體電子元件
• 次微米/奈米元件之電性量測
• 微電子元件量測（photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.）
• 四點探針量測（4 points measurement）