等离子废气处理设备 APX01

◆ 高效处理 × 低功耗设计
◆ 可外接自动加药机，进行酸碱中和处理
◆ 濕式洗滌功能，同步去除水溶性氣體
◆ 使用低成本氮气（N₂）作为工作气体
◆ 体积小巧，易整合至产线 In-line 系统
◆ 可与前端制程设备进行 ON/OFF 联动，节能又安全
◆ 采用高温等离子分解技术，有效处理全氟碳化合物等难分解气体

• 面板产业：STN、TFT、OLED、LTPS
• LED 制造业、PCB 产业、触控面板产业
• 半导体制程设备尾气处理
• 传统制程产业：
• (1) 石化产业制程废气
• (2) 纺织产业气体排放
• (3) 化工产业制程尾气处理