電漿廢氣處理設備 APX01

◆ 高效處理 × 低功耗設計
◆ 可外接自動加藥機，進行酸鹼中和處理
◆ 使用低成本氮氣（N₂）作為工作氣體
◆ 體積小巧，易整合至產線 In-line 系統
◆ 濕式洗滌功能，同步去除水溶性氣體
◆ 可與前端製程設備進行ON/OFF 連動，節能又安全
◆ 透過高溫電漿分解技術，有效處理全氟碳化合物等難分解氣體

• 面板產業：STN、TFT、OLED、LTPS
• LED 製造業、PCB 產業、觸控面板產業
• 半導體製程設備尾氣處理
• 傳統製程產業：(1) 石化產業製程廢氣 (2) 紡織產業氣體排放 (3) 化工產業製程尾氣處理